ژنراتورهای فرکانس رادیویی (RF ژنراتور) شرکت بسافن دستگاهی قابل اعتماد برای فرایندهای صنعتی و آزمایشگاهی لایه‌نشانی و یا تولید پلاسما و یا حتی گرمایش و ذوب دی‌الکتریک است. این دستگاه همچنین از اجزای مهم سامانه‌های ساخت نیمه‌هادی‌ها است که از آن برای تولید مدارات مجتمع (ICها) یا تراشه‌های موجود در کامپیوترهای مدرن و تجهیزات الکترونیکی استفاده می‌شود. RF ژنراتورهای بسافن به همراه شبکه تطبیق امپدانس آن مجموعۀ کامل مولد پلاسمای RF را تشکیل می‌دهند.
RF ژنراتور به درخواست کاربر در یکی از فرکانس‌های 27/12 و 13/56 و 2 مگاهرتز و یا باند سفارشی دیگر طراحی و ساخته می‌شود.
چرا 13.56 مگاهرتز؟
این فرکانس یکی از پرکاربردترین باندهای بین‌المللی آزاد ISM است. یعنی جزو فرکانس‌هایی است که کاربرد صنعتی، علمی و پزشکی دارد. در این باند اجازه فعالیت‌هایی حتی در حد توان بالا وجود دارد بدون این که اختلالی در سیستم مخابراتی اطراف به وجود آید، زیرا باندی است که برای استفاده عمومی اختصاص یافته است. در این باند از مولدهایی با توان چند میلی‌وات تا چند صد کیلووات استفاده می‌شود.
معرفی ژنراتورهای فرکانس رادیویی (RFژنراتور) بسافن
ژنراتورهای فرکانس رادیویی بسافن با فرکانس کار 13/56 مگاهرتز و توان خروجی متغیر، پیشرفته‌ترین مولدهای قابل دسترس در بازارِ تجاری حال حاضر ایران هستند. طراحی این مولدها مجموعه‌ای است از هنرهای الکترونیکِ فرکانس رادیویی، حفاظت‌های توسعه‌یافته‌ی تقویت‌کننده توان، کنترل حلقه بسته و حاشیه امنیت بالایِ لحاظ‌شده در طراحی‌ها. قابلیت ساخت و بازسازی آسان و بازده بسیار بالا از دیگر قابلیت‌های منحصر به فرد این محصول است.
ایمن بودن از نظر ایجاد تداخلات الکترومغناطیسی، قابلیت کار پیوسته، کنترل و کاربری آسان، اعلام نوع خطاهای رخداده، نمایش توان انتقالی و انعکاسی، دریافت ورودی صفر تا پنج ولت برای کنترل توان خروجی ژنراتور (به صورت انتخابی)، دارا بودن خروجی آنالوگ برای مقادیر توان انتقالی و انعکاسی (به صورت انتخابی)، قابلیت محدود کردن توان انعکاسی، سیستم خنک‌‌کننده هوای فشرده از ویژگی‌های دیگر این محصول است. بسافن این محصول را در مدل‌های 100 تا 15000 وات با اجزای نیمه‌هادی و تا 100 کیلووات با تقویت‌کننده مبتنی بر لامپ خلأ تولید می‌کند.
مدل‌های ژنراتورهای RF
تمامی مدل‌های ژنراتورهای RF و جعبه تطبیق امپدانس (Match Box) دارای 18 ماه گارانتی هستند.
{tab مشخصات فنی}
تغذيه ورودي | 220 ولت (200 تا 240) ولت و 50 هرتز (50 تا 60) هرتز |
فرکانس خروجي (MHZ) | 13/56 |
حفاظت | دارای انواع حفاظت (حفاظت در برابر توان انعکاسی، اضافه دما، اضافه جریان و اضافه ولتاژ) به‌ویژه محدودکننده توان انعکاسی |
نمایشگر | نمایش گرافیکی و لمسی (touch screen) یا نمایشگر دیجیتالی |
کنترل ریموت | دیجیتال RS485 |
دماي کاري | 10 تا 40 درجه سانتيگراد |
نوع خنک‌سازي | تهويه هوا |
امپدانس خروجي (اهم) | 50 (مقاومتي) |
ابعاد (سانتي‌متر) |
بسته به توان دستگاه
|
وزن | بسته به توان دستگاه |
کانکتورخروجي | N - 7/16
|
جنس جعبه | آلومينيومي |
{tab انواع ژنراتورهای RF}
RFG5000 | RFG2000 | RFG1000 | RFG600 | RFG300 | RFG200 | |
13.56 | 13.56 | 13.56 | 13.56 | 13.56 | 13.56 | فرکانس (MHz) |
5000 | 2000 | 1000 | 600 | 300 | 200 | توان |
50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | امپدانس خروجی دستگاه (اهم) |
آنالوگ و دیجیتال max485 | آنالوگ و دیجیتال max485 | آنالوگ و دیجیتال max485 | آنالوگ و دیجیتال max485 | آنالوگ و دیجیتال max485 | آنالوگ و دیجیتال max485 | نوع ارتباط |
سون سگمنت | سون سگمنت | LCD | LCD | LCD | LCD | نمایشگر پنل جلو |
7/16 | N | N | N | N | N | کانکتور خروجی دستگاه |
× | × | دارد | دارد | دارد | دارد | تاچ اسکرین |
سه فاز | سه‌فاز | تک‌فاز | تک‌فاز | تک‌فاز | تک‌فاز | برق ورودی |
هوا و آب | هوا | هوا | هوا | هوا | هوا | خنک‌سازی |
{tab ویژگی‌ها و قابلیت‌ها}
• دارای محدودکننده توان انعکاسی
• خنک‌سازی با هوا (بازده تبدیل DC به RF بزرگتر از 70 درصد)
• دارای سیستم کنترل، نمایش و تنظیم لمسی و گرافیکی (touch screen)
• دارای انواع حفاظت (حفاظت در برابر توان انعکاسی، اضافه دما، اضافه جریان و اضافه ولتاژ)، دارای قابلیت محدود کردن خودکار توان انتقالی.
• دارای ورودی صفر تا پنج ولت برای کنترل توان خروجی ژنراتور به صورت ریموت، بازده بیش از 90% در مدل‌های بالای 300 وات.
• دارای خروجی آنالوگ برای مقادیر توان انتقالی و انعکاسی.
• کنترل حلقه بسته توان خروجی که منجر به پایداری توان تنظیم‌شده در طول زمان می‌شود.
• داراي شيلدينگ مناسب برای جلوگيری از تشعشع و ايجاد نويزهاي EMI و دارای ملاحظات لازم برای حفظ سلامت كاربر.
• دارای باکس قابل نصب در رک.
{tab کاربردها}
• تولید نیمه‌هادی‌ها.
• لایه‌نشانی پلاسمایی فیزیکی و شیمیایی.
• لایه‌برداری پلاسمایی.
• انجام پرازش‌های مختلف تحت پلاسما.
• عملیات گرم کردن و ذوب دی‌الکتریک‌های تلفاتی.
