شرکت مهندسی بسافن

ژنراتور پلاسمای فرکانس رادیویی

Super User

Super User

پردازش پلاسمای تحت خلأ

سامانه‌ آزمایشگاهی پردازش پلاسما تحت خلأ به منظور ایجاد خواص مختلف بر روی انواع سطوح و اجسام یک‌بعدی و دوبعدی طراحی و ساخته شده است.

کاربردهای گوناگون این سامانه عبارتند از:
• ایجاد انواع گروه‌های عاملی
• تمیزکاری سطوح
• بهبود خواص رنگ‌پذیری و چسبندگی
• ضد نمدی کردن
• نشاندن انواع لایه پلیمری ضدآب و کندسوزکننده و لایه‌های پلیمری با خواص مورد نظر دیگر.

صنایعی که می‌توانند از خدمات این سامانه بهره برند:
• صنایع نساجی: پوشش‌های آب‌گریزکننده و یا آب‌دوست‌کننده دائمی.
• صنعت کفش: تولید کفش‌های خودتمیزشونده.
• صنایع الکترونیک: پوشش ضدخوردگی و ضدآب بردهای الکترونیکی
• صنایع خودروسازی: افزایش چسبندگی رنگ در قطعات پلاستیکی مورد استفاده.
• صنایع فیلتر: افزایش راندمان و طول عمر فیلترهای هوا.
• صنایع باطری‌سازی: افزایش راندمان و جریان‌دهی و طول عمر باطری.
• صنایع تولید پودر و وکس: افزایش خاصیت انحلال پذیری.
• صنایع رنگ، رزین، پلیمر و چاپ: ایجاد خاصیت چسبندگی رنگ و چسب و رزین و جوهر.
• صنایع پزشکی: پوشش های پایدار گرید پزشکی آب‌دوست و آب‌گریزکننده.
• مراکز دانشگاهی و تحقیقاتی: سیستم‌های پلاسما پلیمریزاسیون و پردازش پلاسما.

 

درخواست خدمات پردازش پلاسمای تحت خلأ
نام و نام خانوادگی
ورودی نامعتبر است
ایمیل (*)
ورودی نامعتبر است
شماره تماس (*)
ورودی نامعتبر است
جنس محصول مورد نظر برای پردازش (*)
ورودی نامعتبر است
خاصیت مورد نظر (*)
ورودی نامعتبر است
توضیحات
ورودی نامعتبر است
کد امنیتی (*) کد امنیتی
ورودی نامعتبر است

منابع تغذیه ولتاژ بالای مگنترون

منابع تغذیه ولتاژ بالای بسافن در ولتاژهای 1000 تا 120000 ولت ارائه می‌شود. از مهم‌ترین ویژگی‌های منابع تغذیه ساخت بسافن، به ویژه در منابع ولتاژ بالا، مصرف انرژی کم در مرحله خروجی و ابعاد کوچک آنها است. پایداری بالا، قابلیت کنترل از راه دور، پروب و کانکتور جداشونده ولتاژ بالا، جریان خروجی قابل کنترل، مدیریت آرک و انواع حفاظت، نمایشگر ولتاژ و جریان و پنل رابط کاربر موجب شده که این منابع تغذیه ولتاژ بالا یک محصول صنعتی قابل اطمینان باشند .

 

مشخصات فنی

مدل HV5300MB
تغذيه ورودی 220 ولت (200 تا 230) ولت و 50 (50 تا 60) هرتز
ولتاژ خروجی (DC)   قابل تنظيم تا منفی 5 کیلو ولت
جریان خروجی قابل تنظيم تا 300 میلی‌آمپر
در منابع تغذیه با فیلامان سری استاندارد: 3/3 ولت و 10 آمپر (امکان ساخت با پارامترهای دلخواه وجود دارد)
رگولاسیون خط کمتر از 0.5 درصد
رگولاسیون بار کمتر از 0.5 درصد
ریپل خروجی در صورت پایدار بودن مقاومت بار و نداشتن تغییرات لحظه‌ای شدید، بسته به ولتاژ خروجی، ریپل خروجی بین نیم تا یک درصد متغیر است.
پایداری خروجی حدود 15 دقیقه پس از تنظیم ولتاژ و رسیدن به ثبات دمایی، کمتر از 0.5 درصد بر ساعت و بعد از یک ساعت، کمتر از 0.5 درصد بر روز.
نمایشگر ولتاژ (4 رقمی)
حفاظت اضافه دما، اتصال کوتاه، اضافه ولتاژ؛ حفاظت قطع سیم ارت.
مدیریت آرک در صورتی که خروجی اتصال کوتاه شود، دستگاه به صورت خودکار غیرفعال شده و بعد از حدود 750 میلی‌ثانیه دوباره در مقدار تنظیم شده بازنشانی می‌شود.
کنترل ریموت آنالوگ - قابلیت کنترل توان مگنترون با توجه به فیدبک توان رفت و بازتابی مایکروویو.
دمای کاری 5 تا 40 درجه سانتي‌گراد
نوع خنک­سازی تهويه هوا به‌­وسيله فن
 کانکتور خروجی  طرح خاص

 

 

منابع تغذیه متناوب

منابع تغذیه متناوب، ساخت شرکت بسافن، در باندهای فرکانسی مختلف به صورت تک‌فرکانس و یا پوشش بازه‌های فرکانسی خاص و همچنین گستره‌ی وسیعی از توان و ولتاژ ساخته می‌شود. مدل‌های مختلف این محصول در جدول زیر دسته‌بندی شده است:

مدل‌ها و مشخصات

مدل

گستره‌ فرکانسی

مشخصات

LF-WB

800 ولت

DC-300KH

باند پهن

صفر تا 800 ولت پیک تا پیک، 100 میلی آمپر، قابلیت تولید شکل موج‌های مختلف، تولید خروجی کاملاً خطی، دارای حفاظت اتصال کوتاه و اضافه بار و اضافه ولتاژ و اضافه دما.

LF-HV

Up to 100KHz

تا ولتاژ 25 کیلوولت، تک‌فرکانس و یا پوشش بازه‌های فرکانسی مشخص، تا توان پنج کیلووات.

LF-PU

Up to 100KHz

خروجی پالسی، تا 1000 ولت، قابلیت تولید پالس مثبت و منفی، قابلیت تنظیم پیک پالس منفی و مثبت به صورت مستقل.

RF-HP

2 MHz

13.56 MHz-27.12 Mhz-40.68 MHz

یا فرکانس سفارشی دیگر

قابل ارائه با توان‌های مختلف تا 15 کیلووات با نیمه‌هادی و تا 100 کیلووات با لامپ خلأ. دارای نمایشگر توان انتقالی و انعکاسی، دارای محدودکننده توان برگشتی، کنترل حلقه بسته توان، دارای شبکه تطبیق امپدانس.

RF-WB

2-30 MHZ

20-60 MHZ

یا بازه فرکانس سفارشی دیگر

قابل ارائه با توان‌های سفارشی مختلف، دارای نمایشگر توان انتقالی و انعکاسی، دارای محدودکننده توان برگشتی، کنترل حلقه بسته توان، خروجی خطی.

MW-HP

2.45 GHz

قابل ارائه تا توان 6 کیلووات، دارای تجهیزات جانبی لانچر، سیرکولاتور، واترلود، دایرکشنال کوپلر، استاب تیونر، سیستم تغذیه و کنترل حلقه بسته توان ماکروویو.

این تجهیز یک سامانه پردازش پلاسمایی تحت خلاء می باشد که به منظور ایجاد خواص مختلف بر روی منسوج و اشیاء دو بعدی و سه بعدی قابل استفاده می باشد.
از طریق پنل کنترل و نمایش دستگاه می‌توان پارامترهای مختلف را عملیات در در دو مد دستی و خودکار تنظیم و عملکرد سامانه را کنترل کرد. در هر دو مد کاری می توان پارامتر ها، شامل فشار کار، مقادیر گاز و مونومر تزریقی و زمانبندی های مختلف و ... را در تنظیم و مانیتور کرد.
از کاربردهای خاص اين دستگاه، ایجاد خواص آبدوستی، آبگریزی، ضد لک و روغن کردن، کند سوز کردن و ...می باشد. خواص را می توان بر روی پارچه، کفش، لباس، برد های الکترونیکی و انواع زیر لایه های پلیمری و کامپوزیتی و ... ایجاد کرد.

 اجزای سازنده این دستگاه به شرح زیر می‌باشد:

1. محفظه خلاء
2. پمپ و اتصالات و گیج و شیر های خلاء
3. منبع تغذیه پلاسما دارای طراحی مخصوص توسط سازنده
4. منابع تغذیه مختلف
5. برد کنترل
6. سیستم کنترل و مانیتورینگ plc و HMI
7. هیتر ها و سنسورهای مختلف دما.
8. الکترود های پلاسما
9. شاسی و بدنه و کاور
10. کابل و اتصالات
11. سیستم تهویه

داده‌های فنی

تغذيه ورودی 380 ولت (410 تا 350) ولت و 50 هرتز (50 تا 60) هرتز
نوع مونومر تزریقی قابلیت تزریق مونومرهای مایع و گازی

سیستم تزریق 

 تزریق توسط کنترلرهای فلوی جرمی.
حجم محفظه سفارشی
جنس بدنه استیل و آلومینیوم
جنس درب آلومینیوم
الکترود پلاسما 

دارای ساختار الکترود بهینه متناسب با نوع کاربری.

 دما قابل تنظیم بین 45 تا 60 درجه سانتی‌گراد
 ژنراتور  دارای طراحی مخصوص توسط سازنده
سیستم کنترل و مانیتورینگ

• Plc و hmi
• قابلیت کنترل و مانیتورینگ کلیه پارامترهای سیستم و خطاها .
• دارای دو مد دستی و اتومات.
• اجرای اقدامات حفاظتی لازم و اینترلاک های داخلی.

 

ژنراتورهای فرکانس رادیویی (RF ژنراتور) شرکت بسافن دستگاهی قابل اعتماد برای فرایندهای صنعتی و آزمایشگاهی لایه‌نشانی و یا تولید پلاسما و یا حتی گرمایش و ذوب دی‌الکتریک است. این دستگاه همچنین از اجزای مهم سامانه‌های ساخت نیمه‌هادی‌ها است که از آن‌ برای تولید مدارات مجتمع (ICها) یا تراشه‌های موجود در کامپیوترهای مدرن و تجهیزات الکترونیکی استفاده می‌شود. RF ژنراتورهای بسافن به همراه شبکه تطبیق امپدانس آن مجموعۀ کامل مولد پلاسمای RF را تشکیل می‌دهند. 
RF ژنراتور به درخواست کاربر در یکی از فرکانس‌های 27/12 و 13/56 و 2 مگاهرتز و یا باند سفارشی دیگر طراحی و ساخته می‌شود.

 

چرا 13.56 مگاهرتز؟
این فرکانس یکی از پرکاربردترین باندهای بین‌المللی آزاد ISM است. یعنی جزو فرکانس‌هایی است که کاربرد صنعتی، علمی و پزشکی دارد. در این باند اجازه فعالیت‌هایی حتی در حد توان بالا وجود دارد بدون این که اختلالی در سیستم مخابراتی اطراف به وجود آید، زیرا باندی است که برای استفاده عمومی اختصاص یافته است. در این باند از مولدهایی با توان چند میلی‌وات تا چند صد کیلووات استفاده می‌شود.
معرفی ژنراتورهای فرکانس رادیویی (RFژنراتور) بسافن
ژنراتورهای فرکانس رادیویی بسافن با فرکانس کار 13/56 مگاهرتز و توان خروجی متغیر، پیشرفته‌ترین مولدهای قابل دسترس در بازارِ تجاری حال حاضر ایران هستند. طراحی این مولدها مجموعه‌ای است از هنرهای الکترونیکِ فرکانس رادیویی، حفاظت‌های توسعه‌یافته‌ی تقویت‌کننده توان، کنترل حلقه بسته و حاشیه امنیت بالایِ لحاظ‌شده در طراحی‌ها. قابلیت ساخت و بازسازی آسان و بازده بسیار بالا از دیگر قابلیت‌های منحصر به فرد این محصول است.
ایمن بودن از نظر ایجاد تداخلات الکترومغناطیسی، قابلیت کار پیوسته، کنترل و کاربری آسان، اعلام نوع خطاهای رخ‌داده، نمایش توان انتقالی و انعکاسی، دریافت ورودی صفر تا پنج ولت برای کنترل توان خروجی ژنراتور (به صورت انتخابی)، دارا بودن خروجی آنالوگ برای مقادیر توان انتقالی و انعکاسی (به صورت انتخابی)، قابلیت محدود کردن توان انعکاسی، سیستم خنک‌‌کننده هوای فشرده از ویژگی‌های دیگر این محصول است. بسافن این محصول را در مدل‌های 100 تا 15000 وات با اجزای نیمه‌هادی و تا 100 کیلووات با تقویت‌کننده مبتنی بر لامپ خلأ تولید می‌کند.

مدل‌های ژنراتورهای RF

تمامی مدل‌های ژنراتورهای RF و جعبه تطبیق امپدانس (Match Box) دارای 18 ماه گارانتی هستند.

 

  

مشخصات فنی

 

تغذيه ورودي

220 ولت (200 تا 240) ولت و 50 هرتز (50 تا 60) هرتز

فرکانس خروجي (MHZ)

13/56

حفاظت

دارای انواع حفاظت (حفاظت در برابر توان انعکاسی، اضافه دما، اضافه جریان و اضافه ولتاژ) به‌ویژه محدودکننده توان انعکاسی

نمایشگر

نمایش گرافیکی و لمسی (touch screen) یا نمایشگر دیجیتالی

کنترل ریموت

دیجیتال RS485

دماي کاري

10 تا 40 درجه سانتي‌گراد

نوع خنک‌­سازي

تهويه هوا

امپدانس خروجي (اهم)

50 (مقاومتي)

ابعاد (سانتي‌­متر)


بسته به توان دستگاه

وزن

بسته به توان دستگاه

کانکتورخروجي

       N - 7/16

جنس جعبه

آلومينيومي

  •  در صورت نیاز به مشاوره یا هرگونه سوال، با کارشناس فنی شرکت بسافن به شماره تلفن 66033430 تماس بگیرید یا از طریق ایمیل آدرس  این آدرس ایمیل توسط spambots حفاظت می شود. برای دیدن شما نیاز به جاوا اسکریپت دارید   مکاتبه کنید.

 ژنراتورهای فرکانس رادیویی به صورت استاندارد با امپدانس خروجی 50 اهم طراحی و ساخته می‌شوند و از آنجایی که محفظه یا مشعل پلاسما یا اغلب بارهای دیگر که نیاز به اعمال توان RF دارند، دارای امپدانس معادل غیر 50 اهم و معمولاً همراه با بخش سلفی و خازنی می‌باشند. بنابراین برای جلوگیری از انعکاس توان ارسال‌شده توسط ژنراتور و حفاظت مولد RF و به حداکثر رساندن توان رسیده به بار و تکرارپذیر کردن فرایندها و همچنین فراهم آوردن شرایط شدت میدان لازم در محفظه قبل و بعد از تشکیل پلاسما نیاز به سامانه‌ای است که امپدانس معادل بار را به امپدانس ژنراتور تغییر سطح دهد. این کار توسط شبکه تطبیق امپدانس که با نام مچ باکس (Matchbox) نیز شناخته می‌شود، انجام می‌گیرد. 

در حالت معمول و استاندارد شبکه تطبیق برای محدوده امپدانسی بین 3 تا 35 اهم ساخته می‌شود، اما با توجه به دانش فنی و تجربه عملی موجود در شرکت بسافن، امکان ارائه شبکه‌های تطبیق برای انواع بارها مانند اسپاترگان و RIE و یا بارهای با کوپلاژ خازنی و القایی و یا بارهای پیچیده مانند چشمه یون هلیکون یا ICP اتمسفری دارای دو مد E و H و یا تورچ‌های پلاسمای اتمسفری و بارهای دارای رنج‌های امپدانسی غیر استاندارد و غیر معمول وجود دارد.
جعبه تطبیق امپدانس در شرکت بسافن در دو نوع دستی و اتوماتیک ساخته می‌شود.


شبکه تطبیق امپدانس اتوماتیک
شبكه‌هاي تطبيق امپدانس خودكار بسافن، ATN-xx-BF، شرايط تطبيق مولد فركانس راديويي را در كاربردهايي مانند PECVD، HDPCVD، اسپاترينگ، اشينگ و غيره فرآهم مي‌آورند. شبكه‌هاي تطبيق بسافن با كمك درايو موتورهاي DC عمليات تطبيق را انجام مي‌دهند. سامانه تطبيق اتوماتيك بسافن امپدانس محفظه پلاسما را به 50 اهم تغيير سطح مي‌دهد تا حداكثر توان از مولد به محفظه برسد.
شبكه‌هاي تطبيق اتوماتيك بسافن در سه مد مستقل کار خود را انجام می‌دهد. مد اتوماتيك به طور پيوسته تغييرات امپدانس محفظه پلاسما را جبران مي‌كند. مد دستي به كاربر اجازه مي‌دهد تا در حين پروسه مقادير خازن‌هاي تطبيق‌كننده را تغيير دهد. در مد تنظيم پریست (PRESET)، كاربر مي‌تواند در شروع كار به صورت خودكار خازن‌ها را در مقداري نزديك به شرايط تطبيق كامل تنظيم كند تا تطبيق با سرعت بيشتري انجام شود.
از طریق پنل جلویی دستگاه كنترلر و همچنين اتصالات VGA می‌توان پارامترهای مختلف را تنظیم و عملکرد آن را کنترل کرد. مقادیر مكان خازن‌ها را می‌توان بر روی نمایشگر آنالوگ دستگاه مشاهده نمود.
از کاربردهای خاص اين دستگاه توليد پلاسما به منظور مصارف گوناگون نظير مراحل مختلف لايه‌نشاني، اسپاترینگ، اچینگ (etching)، تمیزسازی (cleaning) و همچنین براي ساخت قطعات ميکروالکترونيک و فن‌آوري نانو مي‌باشد.
از جمله ویژگی‌های بسیار مهم شبکه‌های تطبیق امپدانس ATN-xx-BF بسافن سرعت عمل بسیار بالا و در حدود 2 ثانیه برای تشکیل پلاسما و انجام تطبیق کامل برای بارهای استاندارد می‌باشد.
در شکل زیر نمای دستگاه را مشاهده می‌نمایید.

نمای کلی شبکه تطبیق مدل ATN-xx-BF

نمای جلو کنترلر

مدل‌های شبکه‌های تطبیق امپدانس (مچ باکس) اتوماتیک بسافن:

 

مشخصات فنی

 

ATN03BF

ATN04BF

ATN09BF

ATN15BF

ATN25BF

فرکانس (مگاهرتز)

13.56

13.56

13.56

13.56

13.56

توان ورودی (وات)

20-300 

20-1000

50-2000

50-3000 

50-5000

امپدانس خروجی (اهم)

50 

50 

50 

50 

50 

ولتاژ خروجی (KV)

4.5

9

15 

25

جریان خروجی (Arms)

10

15

40

80

120 

کانکتور ورودی

N

N

N

N

7/16

کانکتور خروجی

N

7/16 یا اتصال مستقیم

7/16 یا اتصال مستقیم

اتصال مستقیم

اتصال مستقیم

ولتاژ ورودی (Vac)

200-220

200-220

200-220

200-220

200-220

تهویه

به وسیله فن

به وسیله فن و آب به وسیله فن و آب به وسیله فن و آب به وسیله فن و آب

 

شبكه‌هاي تطبيق امپدانس دستی بسافن

شبكه‌هاي تطبيق امپدانس دستی بسافن، MTC-xx-BF، شرايط تطبيق مولد فركانس راديويي را در كاربردهايي مانند PECVD، HDPCVD، اسپاترينگ، اشينگ و غيره فرآهم مي‌آورند. شبكه‌هاي تطبيق بسافن با كمك ولوم‌های مدرج واقع در پنل جلوی دستگاه عمليات تطبيق را انجام مي‌دهند. سامانه تطبيق دستی بسافن امپدانس محفظه پلاسما را به 50 اهم تغيير سطح مي‌دهد تا حداكثر توان از مولد به محفظه برسد. از کاربردهای خاص اين دستگاه، توليد پلاسما به منظور مصارف گوناگون نظير مراحل مختلف لايه‌نشاني اسپاترینگ، اچینگ (etching)، تمیزسازی (cleaning) و همچنین براي ساخت قطعات ميکروالکترونيک و فن‌آوري نانو مي‌باشد.
از ویژگی‌های مدل MTC-xx-BF می‌توان به قیمت مناسب و محدوده امپدانسی وسیع و حتی محدوده امپدانسی سفارشی اشاره کرد. همچنین وجود گیربکس در ساختار آن دقت تنظیم را افزایش داده است.

مدل‌های شبکه‌های تطبیق امپدانس (مچ باکس) دستی بسافن:

 

مشخصات فنی

 

MTC03BF

MTC04BF

MTC09BF

MTC15BF

MTC25BF

فرکانس (مگاهرتز)

13.56

13.56

13.56

13.56

13.56

توان ورودی (وات)

20-300 

20-1000

50-2000

50-3000 

50-5000

امپدانس ورودی (اهم)

50

50 50 50 50

ولتاژ خروجی (KV)

4.5

9

15

25

جریان خروجی (Arms)

10 

15 

40 

80 

120 

کانکتور ورودی

N

N

N

N

7/16

کانکتور خروجی

N

7/16 یا اتصال مستقیم

7/16 یا اتصال مستقیم

اتصال مستقیم

اتصال مستقیم

ولتاژ ورودی (Vac)

200-220

200-220

200-220

200-220

200-220

تهویه

به وسیله فن

به وسیله فن و آب

به وسیله فن و آب

به وسیله فن و آب

به وسیله فن و آب

 

 

  •  در صورت نیاز به مشاوره یا هرگونه سوال با کارشناس فنی شرکت بسافن به شماره تلفن 66033430 تماس بگیرید یا از طریق ایمیل آدرس  این آدرس ایمیل توسط spambots حفاظت می شود. برای دیدن شما نیاز به جاوا اسکریپت دارید  مکاتبه کنید.

این سامانه از روش سد دی‌الکتریک استفاده می‌کند که نوعی تخلیه گاز به وسیله قرار دادن سد در ناحیه تخلیه است و پلاسمای سرد را به طور موثر تولید ‌می‌کند. از ویژگی‌های آن قابلیت تنظیم فرکانس و دامنه میدان اعمالی به الکترودها برای دست‌یابی به پلاسمای کاملاً یکنواخت‌ و همچنین قابلیت تنظیم مدت زمان پردازش می‌باشد. سامانه پلاسمای DBD ساخت بسافن قابلیت کار در فشار اتمسفر و همچنین قابلیت کار در فشار پایین‌تر از اتمسفر (مد وکیوم) را نیز دارد که در بسیاری از پردازش‌ها می‌تواند نتایج مطلوب‌تری و کنترل‌شده‌تری ایجاد کند.

این ویژگی‌ها این نوع پلاسما را به ابزاری پرکاربرد و موثر در حوزه‌های پزشکی، زیست‌فناوری، صنایع چاپ و بسته‌بندی، کشاورزی، شیمی، پلیمر و ... تبدیل کرده است. پلاسمای سد دی‌الکتریک را می‌توان با به‌کارگیری دو الکترود، که یکی از آن‌ها با لایه دی‌الکتریک پوشانده شده و فاصله بین دو الکترود چندین میلی‌متر است، در محدوده ولتاژ بالا تولید کرد. وجود سد دی‌الکتریک باعث محدود شدن جریان و پایین نگهداشتن دمای پلاسما می‌شود.

مشخصات فنی

1. تولید پلاسمای اتمسفری با سطح سفارشی با ورودی هر گاز دلخواه به صورت ترکیب با گاز آرگون.
2. قابليت اضافه كردن مد خلأ ‌در صورت سفارش. در اين صورت فشار كار از حدود 10 تا 760 تور خواهد بود.
3. تولید پلاسمای کاملا یکنواخت.
4. ولتاژ قابل تنظیم بین صفر تا 20 کیلو ولت پیک تا پیک.
5. قابل تنظیم بودن زمان اعمال پلاسما.
6. قابلیت تنظیم فرکانس برای یکنواخت کردن پلاسما.
7. نمایشگر ولتاژ و فرکانس.
8. مجهز به سامانه مدیریت آرک و مدار حفاظت محدود‌کننده جریان.
9. دارای محفظه مناسب برای قرارگرفتن نمونه‌ها.
10. مجهز به خنک‌کننده الکترود محل قرارگیری نمونه. به این ترتیب تغییر دمای ناشی از انتقال گرما از الکترود به نمونه وجود ندارد.
11. وجود اینترلاک حفاظت در برابر شوک الکتریکی. در صورت قرار نداشتن درب محفظه در محل خود، دستگاه فعال نمی‌شود.
12. وجود یک ورودی گاز و یک خروجی گاز به عنوان اگزوز. (گاز ورودی می‌تواند هر گاز دلخواهی باشد، اما باید به صورت ترکیب با آرگون باشد، تا حداقل فیلامنت ایجاد شود. البته در مد فشار کمتر از اتمسفر این مساله وجود ندارد).

منابع تغذیه ولتاژ بالا DC

امروزه در طیف گسترده‌ای از تجهیزات و کاربردها، منابع تغذیه ولتاژ بالا مورد نیاز است. در این میان منابع تغذیه سوئیچینگ با توجه به وزن کمتر و بازدهی بیشتر ترجیح داده می‌شود. منابع تغذیه ولتاژ بالای بسافن در محدوده ولتاژی 1 تا 120 کیلوولت ارائه می‌شود. از جمله ویژگی‌های منابع تغدیه ساخت بسافن، به‌ویژه در محدوده ولتاژهای بالاتر از 20 کیلو ولت، اندازه و وزن کمتر آن نسبت به نمونه‌های مشابه موجود در بازار است. به عنوان مثال، در مدل 40Kv، هزار وات با پروب خروجی جداشونده و امکانات کامل که در ادامه ذکر شده است، اندازه تغذیه 50 × 22 ×18cm (طول × عرض × ارتفاع) و وزن حدود 10 کیلو‌گرم است. 
پایداری بالا، قابلیت کنترل ریموت، پروب و کانکتور جداشونده ولتاژ بالا و همچنین قابلیت اعمال کنترل بر جریان خروجی، مدیریت آرک و انواع حفاظت، نمایشگر ولتاژ و جریان و پنل رابط کاربر موجب شده که این تغذیه‌های ولتاژ بالا یک محصول صنعتی قابل اطمینان باشد. 

ردیف

مدل

محدوده ولتاژ

1

Hv10xBF

10 کیلوولت

2

Hv20xBF

20 کیلوولت

3

Hv30xBF

30 کیلوولت

4

Hv40xBF

40 کیلوولت

5

Hv60xBF

60 کیلوولت

6

Hv80xBF

80 کیلوولت

7

HvXXxBF

حداکثر ولتاژ خروجی در محدوده هزار ولت تا 120 کیلوولت به صورت سفارشی

 

مشخصات فنی

تغذيه ورودی 220 ولت (200 تا 230) ولت و 50 هرتز (50 تا 60) هرتز
ولتاژ خروجی (DC)   قابل تنظيم تا مثبت 40 کیلو ولت
حداکثر ولتاژ خروجی    محدوده 1 تا 120 کیلو ولت بسته به مدل سفارشی
رگولاسیون خط کمتر از 0.5 درصد
رگولاسیون بار کمتر از 0.5 درصد
ریپل خروجی در صورت پایدار بودن مقاومت بار و نداشتن تغییرات لحظه‌ای شدید، بسته به ولتاژ خروجی، ریپل خروجی بین نیم تا یک درصد متغیر است.
پایداری خروجی حدود 15 دقیقه پس از تنظیم ولتاژ و رسیدن به ثبات دمایی، کمتر از 0.5 درصد بر ساعت و بعد از یک ساعت، کمتر از 0.5 درصد بر روز.
نمایشگر ولتاژ (4 رقمی)
حفاظت اضافه دما، اتصال کوتاه، اضافه ولتاژ؛ حفاظت قطع سیم ارت.
مدیریت آرک در صورتی که خروجی اتصال کوتاه شود، دستگاه به صورت خودکار غیرفعال شده و بعد از حدود 750 میلی‌ثانیه دوباره در مقدار تنظیم شده بازنشانی می‌شود.
کنترل ریموت آنالوگ
دمای کاری 10 تا 40 درجه سانتي‌گراد
نوع خنک­سازی تهويه هوا به‌­وسيله فن
 کانکتور خروجی  طرح خاص
 جنس جعبه  آلومينيومي

سوئیچ RF به منظور اتصال یک منبع به چندین مصرف کننده استفاده می شود.  از کاربردهای خاص این سوئیچ های توان بالای RF می توان به سوئیچ خروجی ژنراتور فرکانس رادیویی بین چندین الکترود یا گان اسپاترینگ اشاره کرد

 

مشخصات فنی

 

• امپدانس ورودی و خروجی 50 اهم.
• تعداد کانال های خروجی بین دو تا 10 کانال. (فراهم آوردن قابلیت اتصال چند مصرف کننده به یک RF ژنراتور
• قابلیت سوئیچ دستی و اتوماتیک.
• قابل ارائه تا توان 15 کیلو وات.
• تغییر حالت دهنده مسیر توان RF بین کانال ورودی و کانالهای خروجی.
• وزن حدود 2 کیلوگرم.
• سیگنال کنترل 24 ولت.
• دارای کانکتور های نوع N یا HN برای کاربری آسان.
• خنک سازی با هوا.
• قابل استفاده با هر بار تست شده با RF ژنراتور 50 اهم.

 

صفحه1 از3